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成都超純應(yīng)用材料有限責(zé)任公司（UPAM)成立于2005年，位于中國成都雙流航空港開發(fā)區(qū)，研發(fā)及廠房超過一萬平方米，是一家以技術(shù)為先導(dǎo)的半導(dǎo)體刻蝕器件，高功率激光器件和特種陶瓷的國家高新技術(shù)制造企業(yè)。成都超純具有自主知識產(chǎn)權(quán)，開發(fā)了多類高技術(shù)，包括先進表面處理技術(shù)，可為半導(dǎo)體刻蝕器件和MOCVD器件提供專業(yè)的表面處理服務(wù)；UPMS 先進提純技術(shù)，可將材料的純度提純到5N以上；UPHP 先進陶瓷生產(chǎn)技術(shù)， 制造高密度碳化物和氮化物陶瓷； 同時公司針對不同基底材料開發(fā)了一整套超光滑表面處理技術(shù)UPUS 來控制表面疵病，提高器件的使用壽命。
在研發(fā)實驗的過程中，前期準備、后期清洗和實驗結(jié)果的準確需要超純水來支持，于是成都超純應(yīng)用材料有限責(zé)任公司聯(lián)系到我司四川zhuo越水處理設(shè)備有限公司（新公司四川卓水越醫(yī)療科技有限公司），咨詢超純水設(shè)備相關(guān)問題。
中國電子級超純水水質(zhì)標準
表 1 電子級水的技術(shù)指標GB/T11446. 1— 2013
項 目 | 技術(shù)指標 | ||||
EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ | ||
電阻率(25℃)/MΩ · cm | ≥18 (5%時間不低于 17) | ≥15 (5%時間不低于 13) | ≥12. 0 | ≥0. 5 | |
全硅/(μg/L) | ≤2 | ≤10 | ≤50 | ≤1000 | |
微粒數(shù)/ (個/L) | 0. 05μm~0. 1 μm | 500 | — | — | — |
0. 1 μm~0. 2 μm | 300 | — | — | — | |
0. 2 μm~0. 3 μm | 50 | — | — | — | |
0. 3 μm~0. 5 μm | 20 | — | — | — | |
> 0. 5 μm | 4 | — | — | — | |
細菌個數(shù)/(個/mL) | ≤0. 01 | ≤0. 1 | ≤10 | ≤100 | |
銅/(μg/L) | ≤0. 2 | ≤1 | ≤2 | ≤500 | |
鋅/(μg/L) | ≤0. 2 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
鎳/(μg/L) | ≤0. 1 | ≤1 | ≤2 | ≤500 | |
鈉/(μg/L) | ≤0. 5 | ≤2 | ≤5 | ≤1000 | |
鉀/(μg/L) | ≤0. 5 | ≤2 | ≤5 | ≤500 | |
鐵/(μg/L) | ≤0. 1 | — | — | — | |
鉛/(μg/L) | ≤0. 1 | — | — | — | |
氟/(μg/L) | ≤1 | — | — | — | |
氯/(μg/L) | ≤1 | ≤1 | ≤10 | ≤1000 | |
亞硝酸根/(μg/L) | ≤1 | — | — | — | |
溴/(μg/L) | ≤1 | — | — | — | |
硝酸根/(μg/L) | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
磷酸根/(μg/L) | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
硫酸根/(μg/L) | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
總有機碳/(μg/L) | ≤20 | ≤100 | ≤200 | ≤1000 | |
四川卓水越EDI超純水設(shè)備介紹
一、四川卓水越EDI超純水設(shè)備特點
1、不需要酸堿再生,電除鹽的操作是安全的，廢水的處理變得簡單了。
2、可連續(xù)生產(chǎn),電除鹽的生產(chǎn)是連續(xù)的，免除了使用混床過程中復(fù)雜的再生操作，減少了很多備用設(shè)備。
3、不需要處理廢酸堿,沒有廢酸堿的中和排放處理系統(tǒng)。電除鹽的濃水可以直接排放或返回到RO的進口。
4、安裝條件簡單,電除鹽在安裝時，占地面積小，廠房都能滿足，對于較低的廠房，可通過對電除鹽模塊的水平配置解決。
5、系統(tǒng)設(shè)計簡單,電除鹽的模塊設(shè)計很容易把它的流量做到450噸/小時甚至更高。
6、運行成本低,電除鹽系統(tǒng)與各種混床相比，在價格上有競爭性。
7、實用的設(shè)計,對于電除鹽系統(tǒng)，不管是維修還是增減設(shè)備的容量都是很容易的。必須要更換膜堆時，在現(xiàn)場只要花極少的停機時間就可以完成。
8、安裝維修簡便,電除鹽裝置允許通過對其他膜堆的流量重新分配而達到對某一個膜堆維修的要求，不改變系統(tǒng)的性能。
9、水質(zhì)穩(wěn)定,電除鹽的出水質(zhì)量穩(wěn)定有把握。不會有普通混床那樣的水質(zhì)變化。
10、標準設(shè)計：利用標準單元，如同搭積木般的組合 可以滿足用戶不同產(chǎn)水量的需要。
二、EDI超純水設(shè)備工藝流程
加藥系統(tǒng)
↓
預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→脫氣系統(tǒng)→EDI系統(tǒng)→供水系統(tǒng)
三、EDI超純水設(shè)備工藝說明
※ 預(yù)處理系統(tǒng)由原水箱、原水泵、機械過濾器、活性碳過濾器、軟化器、保安過濾器或原水箱、原 水泵、機械過濾器、保安過濾器、超濾組成；
※ 反滲透系統(tǒng)由高壓泵、反滲透膜組件及膜殼組成，分為一級和二級；
※ 脫氣系統(tǒng)由脫氣膜、自吸泵組成；
※ ED系統(tǒng)由中間水箱、淡水泵、EDI膜塊、直流電源組成；
※ 加藥系統(tǒng)由ST絮凝劑或阻垢劑、PH調(diào)節(jié)劑組成；
※供水系統(tǒng)由純水箱、供水泵組成。
EDI是一種將電滲析和離子交換相互結(jié)合在一起的除鹽新工藝，該工藝過程取電滲析和離子交換兩者之長，彌補對方之短，即利用離子交換能深度脫鹽來克服電滲析極化而脫鹽不*，又利用電滲析極化而發(fā)生水電離產(chǎn)生H+和OH-離子實現(xiàn)樹脂自再生來克服樹脂失效后通過化學(xué)藥劑再生的缺陷，因而EDI技術(shù)是一種好的除鹽工藝。
四、EDI 超純水設(shè)備進水要求:
項 目 | 技 術(shù) 要 求 |
給 水 | RO產(chǎn)水, 電導(dǎo)率≤20μs/cm ( 建議<10μs/cm ) |
PH值 | 6.0 ~ 9.0 ( 建議7.0 ~ 9.0 ) |
水 溫 | 5 ~ 35℃ |
硬 度(以CaCO3計) | < 0.5 ppm |
有機物 | < 0.5 ppm ，TOC建議值為零 |
氧化物 | ≤0.05 ppm (Cl2) , 0.02ppm (O3),兩者為零* |
Fe 、Mn | ≤0.0１ ppm |
二氧化硅 | < 0.5 ppm |
二氧化碳 | < 5 ppm |
油和油脂 | 檢不出 |
油和油脂 檢不出
超純水系統(tǒng)設(shè)備主要應(yīng)用領(lǐng)域為
醫(yī)藥、電子電力、石油化工冶煉、食品等行業(yè)
EDI技術(shù)特點：
★可連續(xù)生產(chǎn)，產(chǎn)水電阻率高≥ 15 MΩ.cm
★產(chǎn)水率可以高達95%
★產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定。不需要配酸堿再生
★無污水產(chǎn)生。
★ 系統(tǒng)控制自動化程度高，操作簡單，勞動強度低。
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